1. 新聞簡介
 

　　岱美儀器供應商EV集團(EVG)是面向MEMS，納米技術(shù)和半導體市場的晶圓鍵合機和光刻設備的領仙供應商，金天宣布已收到其制造設備和服務的權(quán)面組合產(chǎn)品組合的多個訂單，這些產(chǎn)品和服務旨在滿足對晶圓的新興需求，水平光學(WLO)和3D感應。市場領仙的產(chǎn)品組合包括EVG®770自動UV-納米壓印光刻(UV-NIL)步進器，用于步進重復式主圖章制造，用于晶圓級透鏡成型和堆疊的IQAligner®UV壓印系統(tǒng)以及EVG ®40NT自動測量系統(tǒng)，用于對準驗證。EVG的WLO解決方案由該公司的NILPhotonics®能力中心提供支持。
 

　　2. 產(chǎn)品特色
 

　　使用全新的壓印光刻技術(shù)和鍵合對準技術(shù)在晶圓級制造微透鏡，衍射光學元件和其他光學組件可帶來諸多好處。這些措施包括通過高度并行的制造工藝降低擁有成本，以及通過堆疊使蕞終器件的外形尺寸更小。EVG是納米壓印光刻和微成型領域的翹楚和市場向?qū)?，擁有大的工具安裝基礎。
 

　　EV Group企業(yè)技術(shù)總監(jiān)Thomas Glinsner博士證實：“我們看到支持晶圓級光學器件的設備需求正在急劇增加。” “僅從今年年初開始，我們就向大型WLO制造商交付了多個用于透鏡成型和堆疊以及計量的系統(tǒng)，以進行大批量生產(chǎn)。此類訂單進一步鞏固了EVG在該領域市場嶺導者的地位，同時創(chuàng)造了新興應用程序中有大量新機會。”
 

　　業(yè)界領仙的設備制造商蕞近宣布了擴大其傳感領域業(yè)務目標的計劃，以幫助解決客戶日益激進的上市時間窗口。根據(jù)市場研究和策略咨詢公司YoleDéveloppement的說法，下一代智能手機中正在設計十多種傳感器。其中包括3D感測相機，指紋傳感器，虹膜掃描儀，激光二極管發(fā)射器，激光測距儀和生物傳感器。總體而言，光纖集線器預計將從2016年的106億美元增長到2021年的180億美元，復合年增長率超過11%。
 

圖1  晶圓級微鏡頭模組
 

　　對EVG WLO制造解決方案的需求在一定程度上是由對用于移動消費電子產(chǎn)品的新型光學傳感解決方案和設備的需求驅(qū)動的。關(guān)鍵示例包括3D感測(對于獲得更真實的虛擬和增強現(xiàn)實(VR / AR)用戶體驗至關(guān)重要)，生物特征感測(對于安全應用而言越來越關(guān)鍵)，環(huán)境感測，紅外(IR)感測和相機陣列。其他應用包括智能手機中用于高級深度感應以改善相機自動對焦性能的其他光學傳感器以及微型顯示器。
 

　　EV Group企業(yè)技術(shù)開發(fā)兼IP總監(jiān)Markus Wimplinger表示：“毫無疑問，晶圓級光學和3D傳感技術(shù)正在出現(xiàn)高度可持續(xù)的趨勢。“由于在我們公司總部的NILPhotonics能力中心支持的大量正在進行的客戶項目，我們預計在不久的將來將更廣范地使用該技術(shù)。”
 

　　3. 產(chǎn)品型號
 

　　EVG的WLO設備型號包括：
 

　　EVG770自動UV-NIL納米壓印步進機，用于制作主圖章。母模是晶圓大小的模板，里面*裝有微透鏡模具，每個模具都采用分步重復的方法從一個透鏡模板中復制。EVG從金屬或玻璃制成的單鏡頭母版開始，提供了涵蓋了制作母模的所有基本工藝步驟的工藝流程，具有無人能比的鏡片位置精度和膏端鏡片制造所需的高鏡片形狀可重復性晶圓級相機模塊。
 

圖2 EVG770 納米壓印機
 

　　IQ Aligner自動UV-NIL納米壓印系統(tǒng)，用于UV微透鏡成型。軟UV壓印光刻技術(shù)是用于制造聚合物微透鏡(WLO系統(tǒng)的關(guān)鍵要素)的高度并行技術(shù)。EVG從晶圓尺寸的主圖章復制的軟性圖章開始，提供了混合和整體式微透鏡成型工藝，可以輕松地將其應用于工作圖章和微透鏡材料的各種材料組合。此外，EV Group提供合格的微透鏡成型工藝，包括所有相關(guān)的材料專業(yè)知識。
 

圖3  IQ Aligner NT納米壓印機
 

　　EVG40 NT自動測量系統(tǒng)。支持非常高的分辨率和精度的垂直和橫向測量，計量對于驗證是否符合嚴格的工藝規(guī)范并立即優(yōu)化集成的工藝參數(shù)至關(guān)重要。在WLO制造中，EVG的度量衡解決方案可用于關(guān)鍵尺寸(CD)測量和透鏡疊層對準驗證，以及許多其他應用。
 

圖4  EVG40 NT計量設備
 

　　*編者注：該市場數(shù)據(jù)的來源是YoleDéveloppement在2016年6月發(fā)布的“ 2016年手機和平板電腦傳感器”報告。
 

　　4. 關(guān)于EV集團(EVG)
 

　　EV Group(EVG)是岱美儀器的供應商，是制造半導體，微機電系統(tǒng)(MEMS)，化合物半導體，功率器件和納米技術(shù)器件的設備和工藝解決方案的領仙供應商。主要產(chǎn)品包括晶圓鍵合機，薄晶圓處理，光刻/納米壓印光刻(NIL)和計量設備，以及光刻膠涂布機，清潔劑和檢查系統(tǒng)。EV Group成立于1980年，為精致的客戶和合作伙伴提供服務并提供支持。