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EVG850 DB-自動解鍵合系統(tǒng)（晶圓鍵合機(jī)） 經(jīng)過處理的臨時鍵合晶圓疊層被分離和清洗，而易碎的設(shè)備晶圓始終在整個工具中得到支撐。支持的剝離方法包括UV激光，熱剝離和機(jī)械剝離。

EVG805-解鍵合晶圓鍵合機(jī) 用于剝離臨時鍵合和加工過的晶圓疊層，該疊層由器件晶圓，載體晶圓和中間臨時鍵合膠組成。該工具支持熱剝離或機(jī)械剝離。

EVG850 TB-自動化臨時鍵合系統(tǒng) EVG鍵合機(jī) 全自動的臨時鍵合系統(tǒng)（晶圓鍵合機(jī)）可在一個自動化工具中實(shí)現(xiàn)整個臨時鍵合過程-從臨時鍵合劑的施加，烘焙，將設(shè)備晶圓與載體晶圓的對準(zhǔn)和鍵合開始。